紫外激光器光纖的應(yīng)用
發(fā)布時間：2019-06-26 16:41
紫外激光器光纖的應(yīng)用
紫外激光器光纖以其波長短、加工精度高、冷加工等特性，在微細(xì)制造中具有獨(dú)特優(yōu)勢，能夠有效提高制造品質(zhì)。近年來，隨著現(xiàn)代電子產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，其對生產(chǎn)制造的要求不斷提高，紫外激光的應(yīng)用和發(fā)展也受到人們的廣泛關(guān)注。紫外激光在微加工過程中對材料尺寸形狀要求小，加工過程靈活可變，產(chǎn)生的熱影響區(qū)小，紫外激光器穩(wěn)定性能夠?qū)崿F(xiàn)精密復(fù)雜結(jié)構(gòu)的加工。紫外激光器的發(fā)展過程，并對目前主要用于微加工的兩類紫外激光器：準(zhǔn)分子激光器和全固態(tài)激光器的工作原理和技術(shù)特點(diǎn)進(jìn)行了簡要的概述。重點(diǎn)討論紫外激光在半導(dǎo)體、光學(xué)元件和聚合物等領(lǐng)域的技術(shù)發(fā)展和應(yīng)用現(xiàn)狀，并進(jìn)一步對未來研究方向進(jìn)行預(yù)測和展望。
隨著現(xiàn)代化電子產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，產(chǎn)業(yè)需求轉(zhuǎn)為尺寸小型化、重量輕型化和功能多樣化，要求同時實(shí) 現(xiàn)小尺寸、高精度和高質(zhì)量等高品質(zhì)制造。傳統(tǒng)制造 方法存在工藝復(fù)雜、成本高、加工形狀、尺寸、材料 受限等問題，容易導(dǎo)致加工精度低、效率低、副產(chǎn)品 污染嚴(yán)重、加工刀具磨損嚴(yán)重、成品率較低等問題。 與傳統(tǒng)加工方法相比，激光微細(xì)加工具有相干性高、熱影響小、加工效率、精度和重復(fù)率高、對材料無選 擇性、加工方式靈活多樣、成本低等優(yōu)點(diǎn)，因此得到 實(shí)際應(yīng)用并快速發(fā)展。紫外激光波長短，單光子能量 高，能夠直接打斷物質(zhì)原子/分子間連接的化學(xué)鍵加工 物質(zhì)，導(dǎo)致被照射區(qū)域材料直接形成氣態(tài)粒子或微粒 并發(fā)生光化學(xué)剝離過程，不對周圍物質(zhì)造成明顯影響， 幾乎不產(chǎn)生熱影響區(qū)，進(jìn)而獲得高的尺寸精度和邊緣 質(zhì)量，因此從而在半導(dǎo)體材料加工、微光學(xué)元件制作 和印刷電路板等領(lǐng)域。
